能源学院第21期“能动双碳”论坛邀请到首尔大学机械工程系教授、工学院国际事务副院长黄元泰（Hwang Wontae）教授开展“半导体工艺中的流体力学”讲座，欢迎全校师生参加。
一、报告题目
半导体工艺中的流体力学
二、时间地点
时间：2026年6月4日（星期四）15:00
地点：节能楼212会议室
三、报告摘要
针对半导体产业对稀薄气体动力学的迫切需求，本报告聚焦稀薄自由射流及晶圆传输设备的复杂流场结构。首先，运用分子标记测速技术（MTV）揭示真空超声速层流射流特征；其次，剖析传输设备内部流场以探究晶圆表面防污机制；最后，借助磁共振测速（MRV）实现前端开口晶圆盒（FOUP）三维流场可视化。本研究为优化FOUP吹扫工艺提供了理论依据与工程指导。
四、专家简介
黄元泰（Hwang Wontae） 教授，首尔大学机械工程系教授、工学院国际事务副院长。斯坦福大学机械工程博士，曾任GE全球研究中心首席工程师及桑迪亚国家实验室博士后研究员。研究领域涵盖湍流多相流、呼吸流体、气动热力学诊断与可视化，以及燃气轮机和航空发动机中的流动与传热。曾获ASME沃伦·罗森诺奖、韩国机械工程师学会学术奖等多项荣誉，并担任多个韩国工程学会理事。
